Neues FIB-REM TESCAN AmberX2 in Betrieb genommen

Im Rahmen der Maßnahme Tool.Lab.NRW (EFRE-2040085) wurde das im August angelieferte FIB-REM in Betrieb genommen.

Bei dem System handelt sich um eine TESCAN AMBER X2 in Kombination mit dem vollintegrierten EDAX Pegasus EDX/EBSD-System.

Die AMBER X2 ist ein Xe-FIB-REM der neuesten Generation mit feldfreier REM-Säule, Niedervakuum-REM-Modus zur Analyse von elektrisch nicht-leitenden Werkstoffen und vollständig neu-entwickelter Plasma-FIB-Säule. Zusammen mit dem EDAX Pegasus EDX/EBSD-System, welches zur simultanen EDX- und EBSD-Analyse geeignet ist und aufgrund der ausgeprägt hohen Datensammel-Rate nicht nur ex-situ sondern auch in-situ Beobachtungen erlaubt, ist so die Offenlegung von 3-dimensionalen Einflüssen im REM möglichen.

Mit den Systemen sind absofort Analysen von Werkstoffen und Halbzeugen in kleinsten Dimensionen mit großer Informationstiefe möglich. So sollen in zukünftigen Entwicklungsprojekten Herstellprozesse und deren Optimierungsmöglichkeiten offengelegt, Versagensprozesse untersucht und Einsatzgrenzen abgeleitet werden. In Kombination mit den aktuell in der Beschaffung befindlichen Stages zur mechanischen Prüfung werden wir ab Sommer 2026 auch in-situ Untersuchungen im REM durchführen können.

In den letzten Wochen konnten mit dem System bereits erste Untersuchungen zur Charakterisierung von mit dem ebenfalls gerade erst in Betrieb genommen AMAZEMET rePowder-System selbst erzeugten Metallpulvern durchgeführt werden.

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